研究開発活動
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5【研究開発活動】 研究開発につきましては、技術革新と市場環境変化の激しい半導体、FPD、LED業界にあって、各ユーザーとの情報交換・技術交流を通して今後の技術発展動向とユーザーニーズを先取りすることを重視し、研究開発をすすめております。 現在の研究開発は、当社の技術担当部門が中心となり、日本・米国・欧州・アジアの各拠点で進めております。 当連結会計年度の研究開発費は 4,187 百万円であります。なお、研究開発費については、セグメント別に表示することは困難であるため総額で表示しております。 その主な成果は次のとおりであります。 (1)半導体等装置関連事業 ①真空シール 新磁性流体の評価及びデバイスの改良設計を行い、従来品と比較してシール性能の長寿命化及び低トルク化に取り組んでおります。さらに、耐薬品性能にも着目し、シール性能が大幅に向上するように製品設計を行っており、顧客より好評を得ております。さらなる顧客満足度を向上させるべく、顧客の要望を取り入れた設計にも積極的に取り組んでおります。 ②セラミックス製品 ファインセラミックス事業につきましては、大手半導体製造装置メーカー向けの高性能素材の開発に取り組んでおり、顧客の認定取得に結び付いております。また、マシナブルセラミックス事業では、半導体検査装置部品用素材の高性能化、レーザー加工技術の高度化を推進、国内外のユーザーから高い評価を得て着実に受注量を増やしております。 ③CVD-SiC CVD-SiC事業におきましては、半導体製造装置用部品の開発を進め、大手顧客での実機評価を推進中です。あわせて製造プロセス技術の高度化と合理化を進め、高性能かつコスト競争力のある製品の開発を推進中です。 ④真空蒸着装置 Temescal事業においては、あらたに開発した大型装置でのプロセスに対応するため、蒸着材料を装填する100cc×14ポケットを装備したXLシリーズを開発しました。従来型は25cc×6ポケットでしたが、これにより、大型装置で蒸着材料補充のためのプロセス中断回数を大幅に削減し、生産性の向上に飛躍的に寄与させることが出来ます。 ⑤石英坩堝製品 石英坩堝については、半導体用途に使用できるよう品質を安定化させるため、積極的な改善を実施しております。さらに、半導体向け大口径型の石英坩堝の需要に対応するため、引き続き上工程及び下工程の製造設備の改善作業にも取り組んでおります。 ⑥シリコンウエーハ事業 半導体向けシリコンウエーハを単結晶インゴットからウエーハ加工まで一貫した製造を行なうための試作開発と量産技術開発に取り組んでいます。…
設備投資等の概要
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2【主要な設備の状況】 当社及び連結子会社の主要な設備は、次のとおりであります。 (1)提出会社 2020年3月31日現在 事業所名 (所在地) セグメントの名称 設備の内容 帳簿価額 従業員数 (人) 建物 及び 構築物 (千円) 機械装置 及び車両運搬具 (千円) 工具器具 備品 (千円) 土地 (千円) (面積㎡) リース資産 (千円) 合計 (千円) 本社 (東京都中央区) 半導体等装置関連事業 電子デバイス事業 全社 事務所設備賃貸設備 28,662 25,192 ( - ) 53,855 63 千葉工場 (千葉県匝瑳市) 半導体等装置関連事業 電子デバイス事業 その他 研究開発設備 賃貸設備 239,000 80,667 3,057 245,651 (17,333.70) 189,808 758,185 (岡山県玉野市) 半導体等装置関連事業 賃貸設備 120,954 540 393,985 (19,648.92) 515,480 (東京都港区) 全社 社宅 149,995 9,392 331,656 (3,910.57) 491,044 (注)1.金額は帳簿価額であり、建設仮勘定は含んでおりません。 2.本社の建物は賃借です。上記の表中の建物及び構築物の金額は、賃借中の建物に施した建物付帯設備の金額です。なお、年間賃借料は85百万円であります。 3.千葉県匝瑳市の建物及び構築物・土地の一部は、連結子会社へ賃貸しております。 4.岡山県玉野市の賃貸設備はすべて連結子会社へ賃貸しております。 (2)国内子会社 2020年3月31日現在 会社名 (所在地) セグメントの名称 設備の内容 帳簿価額 従業員数 (人) 建物及び構築物 (千円) 機械装置 及び 運搬具 (千円) 工具、 器具及び 備品 (千円) 土地 (千円) (面積㎡) リース資産 (千円) 合計 (千円) ㈱フェローテック (東京都中央区、千葉県匝瑳市) 半導体等装置関連事業 電子デバイス事業 製造設備 13,828 73,490 16,854 ( - ) 104,174 86 ㈱フェローテックマテリアルテクノロジーズ (石川県白山市、兵庫県尼崎市、岡山県玉野市) 半導体等装置関連事業 製造設備 966,930 1,052,274 143,523 562,850 (18,035.15) 103,192 2,828,771 258 ㈱アサヒ製作所 (神奈川県足柄上郡中井町) その他 製造設備 640,278 78,563 16,389 259,003 (12,551.89) 994,235 145 (注)1.金額は帳簿価額であり、建設仮勘定は含んでおりません。 2.…